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日本HORIBA經濟型質量流量控制器

  • 型   號:SEC E40
  • 類   別:
  • 價   格:¥面議
  • 產   地:

日本HORIBA經濟型質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
特征
?適用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM(以N2為標準)
?被廣泛的使用于的制造業,從一般工業到高科技產業。

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產品詳細介紹

所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域,日本HORIBA經濟型質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。

特征

· 適用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM(以N2為標準)

· 被廣泛的使用于的制造業,從一般工業到高科技產業。

日本HORIBA經濟型質量流量控制器規格

技術規格

型號

SEC- (質量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(zui小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

 

型號

SEC- (質量流量控制器)

E60

E70

E80

SEF- (質量流量計)

E60

E70

E80

適用氣體種類*1

N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

N2、O2、Air、H2

氣體接觸部材質

SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控制范圍 (適于SEC系列)

5?100% F.S.

流量測量范圍 (適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

2秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反復性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差壓值值(適于SEC系列)

100?300kPa(d)

200?350kPa(d)

使用壓力 (適于SEF系列)

350kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-7Pa?m3/s(He)以下

450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內

使用環境溫度

5?45℃(精度的確保:15?35℃)

流量設定信號

0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(zui小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

3/8SWL 類型

1/2SWL 類型

*1:關于記載以外的氣體種類,請另行咨詢協商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:zui大值300kPa(G);SEC-70/80:zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。


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